实测案例 马路科技汇专超声方案突破半导体塑料芯片微孔加工瓶颈

芯片测试插座(Semiconductor Test Socket)是一种应用于半导体生产过程成品测试阶段的“消耗型”硬件通常由探针、电子元件、线材与印刷电路板PCB组成承担着晶圆与测试系统之间电连接的关键作用能够对芯片进行缺陷检测、功能测试及性能筛选其产品性能直接决定芯片良率及制造成本。工程塑料具有优异的绝缘性、耐热性、耐化学性是制造芯片测试插座的理想材料。随着科技的进步芯片制程持续升级行业对芯片测试插座的加工质量要求日益严苛。使用传统方案加工工程塑料芯片测试插座往往难以兼顾高精度与高效率一方面芯片测试插座具有高复杂性、高精密型、高定制化等特点在密集孔加工过程中难以保证其高稳定性另一方面工程塑料在高速钻削过程中容易产生严重的孔口毛刺加工难度极大。马路科技先进材料超深微孔超声加工整体解决方案马路科技与汇专集团达成战略合作作为汇专高端超声绿色数控机床的区域授权代理全面推出汇专的高端超声绿色数控机床、整体PCD刀具、超声钻系列产品共同打造从设计到制造的一站式闭环全方位满足各行业多样化需求。马路科技作为汇专高端超声绿色数控机床及关键部件研制商凭借深厚的技术积累和卓越的创新能力在半导体先进材料超深微孔加工领域积累了丰富经验。近期汇专采用自主研发的立式高速精密加工中心UHM150-5AXIS超声加工技术超声振幅测量仪断刀预警监控系统TBPS的组合方案成功突破工程塑料芯片测试插座阶梯微孔加工瓶颈孔间距最小0.35mm孔壁最薄为0.03mm孔口毛刺缩短72%微孔毛刺缺陷率低至0.2%孔直径、真圆度、位置度、同轴度倒角深度等关键指标均大幅优于客户目标值。解决方案其中马路科技解决方案的核心产品汇专立式高速精密加工中心UHM150-5AXIS具备小尺寸、小体积、占地面积少等特点整机重量仅1,500kg配置汇专自主研发智能化超声加工技术可选40,000rpm超声主轴或160,000rpm高速气浮电主轴搭配自研高刚性、高精度转台B/C轴旋转定位精度±5arcsec重复定位精度±2arcsec配置高精度光栅尺X/Y/Z轴定位精度2μm重复定位精度1μm转盘式刀库设计24T适用于半导体行业各类高精密产品的高速铣削及打孔加工。测试案例分享 芯片测试插座 阶梯微孔加工材料杜邦工程塑料 (VESPEL SCP5000)加工特征D0.2/D0.3mm阶梯微孔钻孔测试结果马路科技汇专超声方案加工毛刺抑制效果明显选取168组孔检测数据孔直径、真圆度、位置度、同轴度均符合公差要求检测15组倒角倒角深度均符合公差要求定位孔角度均符合公差要求。孔壁质量孔间距最小0.35mm孔壁最薄为0.03mm孔壁厚度一致性好无破壁现象。孔口毛刺孔口毛刺从0.095mm缩短至0.027mm缩短72%。微孔毛刺缺陷率传统方案微孔毛刺缺陷率达5%马路科技汇专方案微孔毛刺缺陷率低至0.2%经检测99.8%的微孔满足毛刺质量要求。孔位置度D0.2孔客户目标值≤0.03mm马路科技汇专超声方案加工孔位置度范围0.000mm-0.023mm。D0.3孔客户目标值≤0.03mm汇专超声方案加工孔位置度范围0.004mm-0.015mm。孔同轴度客户目标值≤0.03mm汇专超声方案加工孔同轴度0.001mm-0.020mm。ATANATAN符合标准值根据三坐标测量结果左侧图示角度为ATAN15.000/31.50125.463标准值为25.463。当前国内半导体芯片产能持续扩张但高端芯片测试插座长期依赖进口制约半导体产业向高端化、自主可控方向发展。马路科技深耕高端制造领域创新产品与技术不仅成功应用于工程塑料(VESPEL SCP5000)芯片测试插座阶梯微孔加工在CVD碳化硅SiC喷淋盘、单晶硅曲面电极、多晶硅栅极环、石英玻璃喷淋盘、石英玻璃基板、石英玻璃多面棱镜、氧化铝陶瓷喷淋盘、铝合金喷淋盘、高温橡胶探针吸嘴、铝基碳化硅工件等半导体精密零部件加工方面同样取得显著成效可有效提升加工效率改善工件表面质量实现连续稳定加工。未来马路科技将不断加强创新产品研发投入持续升级先进材料超深微孔超声加工整体解决方案为推动半导体制造技术升级、助力制造业高质量发展贡献更多创新力量。